QMEMS是由具有高穩(wěn)定、高精度等優(yōu)越特征的石英材料“QUARTZ”和“MEMS”（精微加工技術）組成的合成詞。與以半導體為材料的MEMS相對應，以石英為 原料進行精微加工，提供小型化、高性能的晶體元器件被稱為“QMEMS”。 QMEMS是愛普生拓優(yōu)科夢（Epson Toyocom）的注冊商標。